新一代功率半导体氧化镓开始提供外延晶圆
发布时间:2020-07-21 17:48:28
阅读:次
来源:灯笼厂家
日本风险企业Novel Crystal Technology公司(总部:埼玉县狭山市)将于2015年10月开始销售新一代功率半导体材料之一——氧化镓的外延晶圆(β型Ga2O3)。这款晶圆是日本信息通信研究机构(NICT)、日本东京农工大学和田村制作所等共同研究的成果。Novel Crystal Technology公司是从田村制作所分离出来的风险企业,定位于“NICT技术转移企业”。该公司的目标是2016年度实现销售额6000万日元,2020年度实现销售额7亿日元,2025年度实现销售额80亿日元。
本文引用地址:与作为新一代功率半导体材料推进开发的SiC(碳化硅)及GaN(氮化镓)相比,氧化镓可以低成本制造高耐压、低损耗的功率半导体元件(以下简称功率元件),因此颇受关注。
功率器件用的外延晶圆需要具备两个条件,一是外延层表面的平坦性,二是控制低载流子浓度区域的浓度。此次采用了使用臭氧的“臭氧MBE法”成膜法。优化了结晶面的方位、掺杂剂的种类、生长温度、原料供应量等生长参数。能够实现1nm以下的表面粗糙度,并可获得1016/cm3载流子浓度区域。现已确认利用此次的外延晶圆,可以制造肖特基二极管(SBD)和晶体管。
相关阅读
- 广东汽车工业创新驱动高质量发展新动能不断冲压机电力金具舞蹈鞋功分器粉碎设备Frc
- 科威特减产超过预期油价受助小涨纺织化纤平焊法兰耳坠金属丝绳挤水机Frc
- 柳工结构件二厂爱心助学托起知识梦0装卸机械波谱仪瓷管护栏网配电柜箱Frc
- 大口径双壁波纹管生产线的研发设计中间合金磁带库飞轮注油机托盘Frc
- 中国重汽豪瀚J5G成功导入重庆合川地区0贴标机喷水管挖掘机收获机械搞笑玩具Frc
- 平面设计中形象元素的类型及运用圆柱钢垫圈运动头带杀螨剂釉面地砖Frc
- 岛津走进厦门交流新材料表面分析技术导杆阳极拖车调速器武术馆埋夹机Frc
- 远程打样的模式英德绞切机橡胶模光纤线缆风批Frc
- 华莹玻璃五彩斑斓的世界选矿设备贺卡压塑加工旋耕机橡胶模具Frc
- 小型工程机械市场前景广阔0硅莫砖空调工具旅行社制绳机热交换器Frc